VIGOR Ürün Ekspres|Akış Anahtarı VEFS2 Serisi

Yapay zeka,{0}yüksek performanslı bilgi işlem (HPC), otomotiv elektroniği ve Nesnelerin İnterneti uygulamalarının yönlendirdiği yarı iletken endüstrisi hızlı bir dönüşümden geçiyor. Ancak bu dikkate değer büyüme aynı zamanda yeni operasyonel zorlukları da beraberinde getirdi. Üretim ölçekleri benzeri görülmemiş bir oranda genişledikçe, silan ve fosfin gibi yüksek riskli özel gazlar yarı iletken fabrikalarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Boru hattının yırtılması, gevşek bağlantı parçaları, conta arızası veya yanlış kurulumdan kaynaklanan herhangi bir kontrolsüz gaz sızıntısı, hızla ciddi bir güvenlik olayına dönüşebilir, personel güvenliğini tehdit edebilir, kritik üretim ekipmanlarına zarar verebilir ve maliyetli plansız arıza sürelerine neden olabilir. Bu arka plana karşı, tamamen mekanik çalıştırma tasarımı ve olağanüstü ultra-yüksek{-saflık (UHP) uyumluluğuyla VIGOUR'un Aşırı Akış Anahtarı (EFS), dünya çapında yarı iletken üretim hatlarında Gaz Kabinleri ve VMB'ler dahil olmak üzere özel gaz besleme sistemleri için vazgeçilmez bir güvenlik önlemi haline geldi.

VIGOR EFS'nin temel tasarım prensibi anormal akış koşullarını tespit etmek ve güvenilir bir şekilde yanıt vermektir. Aşağı yöndeki bir boru hattı arızası, önceden belirlenmiş kritik açma noktasını aşan ani ve aşırı bir akış artışıyla sonuçlandığında- cihaz hemen bir yanıt sinyali tetikler. Bu sinyal, yerleşik-kamış anahtarındaki elektrik kontaklarının açılması veya kapanması yoluyla iletilir ve daha sonra senkronize edilir ve SCADA sistemine veya Gaz İzleme Sistemine (GMS) gönderilir. Gerçek zamanlı-uyarılar sağlayarak ve hızlı otomatik yanıtlara olanak tanıyarak, proaktif güvenlik yönetimini destekler, potansiyel tehlikeleri etkili bir şekilde azaltır ve gaz dağıtım ağının genel güvenilirliğini güçlendirir.

Yarı iletken üretim süreçlerinde gaz sistemindeki her bileşen potansiyel bir kirlenme kaynağı haline gelebilir. Küçük parçacıklar, metalik yabancı maddeler veya yüzey adsorpsiyonu bile levha kalitesini tehlikeye atabilir ve üretim verimini azaltabilir. Bu nedenle VIGOR, malzeme saflığını, yüzey temizliğini ve operasyonel stabiliteyi sağlamak için yarı iletken endüstrisinin katı standartlarına sıkı sıkıya bağlı kalır.

Malzeme standartları açısından VIGOR, yalnızca VIM/VAR çift-ergitme teknolojisiyle üretilen 316L paslanmaz çeliği kullanır. Bu gelişmiş metalurjik süreç, metalik kalıntıları ve artık yabancı maddeleri önemli ölçüde azaltarak mükemmel korozyon direnci sağlar ve gaz kirliliği riskini en aza indirir. Yüzey işlemi için tüm ürünler, 5–10 μ inçlik iç yüzey pürüzlülüğünü koruyan gelişmiş elektro-parlatmaya (EP) tabi tutulur. Böylesine pürüzsüz ve temiz bir iç kısım, gaz moleküllerinin iç duvarlara adsorbe edilmesini önler ve partikül çökelmesini ortadan kaldırarak stabil ve kirlenmeden- gaz dağıtımını destekler.

Ayrıca VIGOR EFS, çeşitli uygulama senaryolarına uyacak geniş bir yelpazede kritik açma noktaları ve esnek yapılandırma seçenekleri sunar. Kullanıcılar, basit parametre eşleştirme yoluyla belirli gaz türlerine, çalışma basıncı koşullarına ve izin verilen maksimum akış hızlarına dayalı olarak doğru modeli kolayca belirleyebilir. Bu yüksek düzeydeki özelleştirme, modern yarı iletken imalatındaki çeşitli ultra-yüksek-saflıktaki gaz uygulamaları için hassas ve güvenilir aşırı-akış koruması sağlar.

  Yüksek akışlı uygulamalar için akış anahtarı

 Yatay veya dikey ana hat seçeneği mevcuttur

 Cihazda minimum basınç kaybı

 SS 316L paslanmaz çelik