Yarı İletken Üretiminde Gaz Saflığı Ne Kadar Kritiktir?
Yarı İletken Üretiminde Genel Konsensus
Yarı iletken imalatında iyi-yerleşmiş bir fikir birliği hakimdir: Çip performansının üst sınırı tasarımla tanımlanırken, üretim veriminin alt sınırı malzeme saflığına bağlıdır.
Görsel internetten alınmıştır.
Tek Çipin Arkasındaki Tam Gaz Listesi
Plaka temizleme ve ince-film biriktirmeden dağlama ve katkılamaya kadar, tek bir 12-inçlik plakanın üretim süreci, silan, amonyak, nitrojen triflorür, tungsten heksaflorür, hidrojen klorür ve daha fazlasını içeren 30'dan fazla işlem gazını içerir. Her gazın reaksiyon odasına ultra yüksek saflıkta iletilmesi gerekir.
Gaz borularına giren ppb düzeyindeki eser miktardaki yabancı maddeler (nem, oksijen, parçacıklı madde), ince-film kusurlarını ve arayüzey kirlenmesini tetikleyerek üretim verimini doğrudan düşürebilir. 3nm sürecini örnek alırsak, her bir çip yüzlerce ABD doları değerindedir; Getiride yalnızca %1'lik bir dalgalanma, on milyonlarca değerindeki kârı silmek için yeterlidir.
"Yüksek Saflık" Neden Yeterli Değil?
Yarı iletken endüstrisinde "yüksek saflık", "işleme-hazır" anlamına gelmez. Asıl zorluk, gaz kaynağından kullanım noktasına (POU) kadar olan tüm dağıtım yolu boyunca saflığın korunmasında - kontaminasyonu-serbest gazın korunmasında yatmaktadır.
Bunu başarmak için üç temel koruma birlikte çalışır:
(1)Malzeme Seçimi: Boru sistemi ve valf gövdeleri, temel malzemelerden elementel gaz çıkışını en aza indirmek için VIM+VAR çift yeniden eritilmiş 316L paslanmaz çelikten üretilmiştir.
(2)Yüzey İşleme: İç yüzey pürüzlülüğü Ra Parçacık yapışmasını ve nem adsorpsiyonunu azaltmak için elektro-parlatma (EP) işlemiyle 0,25 μm'ye (10 μin.) eşit veya daha az.
(3)Hermetik Sızdırmazlık Bütünlüğü: Helyum sızıntı oranı Harici kirlilik girişini tamamen engellemek için 1×10⁻⁹ atm·cc/sn'ye eşit veya daha az.
Yarı İletken Gaz Dağıtım Çözümleri
VIGOR VUPS Ultra-Yüksek Saflıkta ürün grubu, VCR metal yüzeyli-conta bağlantı parçaları, yüksek-saflıkta diyafram valfleri ve iki-kademeli basınç regülatörleri de dahil olmak üzere, SEMI standartlarına uygun tüm gaz dağıtım zincirini kapsar.
Tüm ürünler sevkiyattan önce Sınıf 100 temiz odalarda monte edilir, test edilir ve çift-torbalı vakumla-paketlenir. Müşterilerin aldığı şey yalnızca bireysel vanalar değil, aynı zamanda eksiksiz bir tak-çalıştır-ultra-yüksek saflık güvence sistemidir.
VIGOR ürünleri, silan, nitrojen triflorür ve boron triklorür gibi kritik proses gazlarıyla uyumlu, çok sayıda levha fabrikasındaki özel gaz dağıtım sistemlerinde ve CVD/PVD gaz besleme boru hatlarında güvenilir bir şekilde çalışmaktadır.
Yarı iletken üretimi kirleticilere - karşı sonsuz bir yarıştır ve VIGOUR'un misyonu bu yarış için mümkün olan en temiz başlangıç çizgisini sağlamaktır.
